工業(yè)廢氣處理設備主要有：水林塔、低溫等離子、 UV光解空氣凈化器、活性炭吸附設備等其他有機廢氣處理設備。

水林塔，也稱廢氣凈化塔。廢氣處理設備的工作原理是將氣體中的污染物質(zhì)分離出來，轉(zhuǎn)化為無害物質(zhì)，以達到凈化氣體的目的

活性炭吸附是利用活性炭的物理吸附、化學吸附、氧化、催化氧化和還原等性能去除氣體中的污染物。

UV光解空氣凈化器是利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射惡臭氣體，裂解惡臭氣體的裝置。

低溫等離子是利用所產(chǎn)生的高能電子、自由基等活性粒子激活、電離、裂解工業(yè)廢氣中的各組成份。